[发明专利]采用光加热的PVD设备

权利要求书

1.采用光加热的PVD设备，包括一壳体，其特征在于：所述壳体横向两侧分别设有供放置待镀膜材料的传输带通过的入口和出口，且所述传输带将所述壳体分隔成上腔与下腔，所述壳体内入口和出口处分别设有动态夹持所述传输带并带动其移动的滚筒组，各所述滚筒组包括贴设于传输带上侧的上滚筒和贴设于传输带下侧的下滚筒，所述壳体上还设有驱动所述滚筒组运转的第一伺服电机；所述下腔内设有用于放置靶材的移动靶舟及对所述移动靶舟提供热源的光热装置，所述移动靶舟上端具有一朝向所述传输带的喷气口，所述光热装置设于所述移动靶舟下端。

2.根据权利要求1所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：所述下腔内设有一转动的丝杆，所述移动靶舟设有与所述丝杆适配的螺纹孔，所述移动靶舟由所述螺纹孔安装于所述丝杆上。

3.根据权利要求1所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：所述光热装置包括设于所述移动靶舟下端的光腔、设于所述光腔内并聚焦于所述移动靶盘下端的聚焦镜头及柔性的导光管，所述导光管的一端插设于所述光腔内并朝向所述聚焦镜头，另一端与光源设备连接。

4.根据权利要求3所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：所述光源设备设于所述壳体的外部，所述导光管连接光源设备的一端穿过所述壳体与所述光源设备连接。

5.根据权利要求1所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：所述壳体上开设有供惰性气体进入的进气口和排出的排气口。

6.根据权利要求5所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：所述进气口和排气口分别配备有进气控制阀和排气控制阀。

7.根据权利要求2所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：所述壳体侧壁设有驱动所述丝杆转动的第二伺服电机。

8.根据权利要求1所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：各所述上滚筒和下滚筒的表面设有弹性层，各所述上滚筒和下滚筒的两端部表面相互弹性按压，各所述上滚筒和下滚筒之间具有供所述传输带通过的间隙，且各所述上滚筒和下滚筒与所述传输带之间相互弹性按压。

9.根据权利要求1~8任一项所述的采用光加热的PVD设备，其特征在于：还包括控制系统，所述控制系统包括膜厚监控系统、测温装置、监控所述上腔和下腔内压力的压力测控系统、监控所述上腔和下腔内部环境的视频监控装置。