[发明专利]具有热膨胀平衡层或加强层的微机电装置无效
| 申请号： | 201210567891.X | 申请日： | 2009-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN102981264A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 绍里·古德拉瓦莱蒂;克拉伦斯·徐 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种干涉式调制装置具备在可移动柔性层的与可移动反射体相对的一侧上的热膨胀平衡层，以使得当温度改变时，所述可移动反射体与光学堆叠之间的距离不会显著改变，借此产生稳定色彩。另外，一种干涉式调制装置具备在所述可移动柔性层与所述可移动反射体之间的加强层，且至少一个中空空隙存在于所述可移动反射体与所述加强层彼此接触的表面上，以使得所述可移动反射体对于弯曲来说更具刚性，借此降低所述可移动反射体的温度敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 热膨胀 平衡 加强 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种装置，其包含：光学堆叠；可移动反射体，所述可移动反射体相对于所述光学堆叠可移动通过在至少第一位置与第二位置之间的干涉调制腔；以及热膨胀平衡层，机械耦合至所述可移动反射体上相对于所述干涉调制腔的一侧上可移动柔性层的与所述可移动至少部分反射体相对的一侧上，所述热膨胀平衡层被配置为当所述可移动反射体位于所述第一位置时，所述装置被加热或冷却时所述可移动反射体与所述光学堆叠之间的距离不会改变。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高通MEMS科技公司，未经高通MEMS科技公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210567891.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
