[发明专利]一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法有效
| 申请号： | 201210563816.6 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103033272A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 武旭华;赵静;曹鸿霞;张仙玲;李博 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法，属于精密测量的技术领域。所述同步移相横向剪切干涉仪包括置于壳体内的光学元器件。包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置的分束镜，镜像分布在分束镜两侧的剪切板组，与衍射光垂直的CCD图像传感器。所述同步移相横向剪切干涉仪的检测方法通过调节两个剪切板之间的夹角与距离实现同步移相。本发明通过调节剪切板之间的距离和夹角来避免复杂机械运动，同时达到移相效果；在同一采集图像上可同步获取多幅一维移相剪切干涉图，可在后续的算法中消除外界环境对每幅干涉图的影响，大大降低对环境的要求；操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同步 横向 剪切 干涉仪 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种同步移相横向剪切干涉仪，包括置于壳体内的光学元器件、高速图像采集卡和计算机，所述光学元器件包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置的分束镜；其特征在于所述光学元器件还包括：两个剪切板组，两个CCD图像传感器；所述两个剪切板组镜像分布在分束镜两侧，两个CCD图像传感器与剪切板组反射光方向垂直。
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