[发明专利]一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法

说明书

技术领域

本发明公开了一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法，属于精密测量的技术领域。

背景技术

现有的波前测试技术主要有四类：由光束波前的斜率来反演波前，如哈特曼、夏克-哈特曼波前传感器，其中哈特曼法每检测一个系统就要制造匹配的哈特曼光阑，成本很高，而夏克-哈特曼法空间分辨率不高，不能精确反应细节部分；由光束波前的曲率来反演波前，如曲率波前传感器，重构精度较低；由光束的聚焦光斑来反演波前，如线性相位波前传感器，只适用于待测波前畸变较小时；由光束产生的干涉条纹来反演波前，如斐索干涉法、泰曼-格林干涉法、剪切干涉仪等，测试精度高，但需引入参考平面波，对环境稳定性或测试装置的防震性能要求较高；横向剪切干涉仪测试精度高且用被检波面本身错位后形成的两个波面发生干涉，不需另外引入参考波，简化系统结构且光路对机械震动、温度扰动及空气流动都不敏感，系统稳定。

在现有的移相横向剪切干涉仪中，常采用PZT改变干涉光间的光程差来实现相移，PZT需按照一定时间顺序进行机械运动来保证，各移相干涉图是探测器在同一空间位置不同时刻探测到的，而移相原理要求在移相过程中图像背景、对比度以及被测相位都稳定不变，因此测量结果必然受到外界环境的影响。

现在已有的移相横向剪切仪有如下几种：

（一）基于单剪切元件的移相横向剪切仪器：需要移相元件高精度地机械运动产生相移，在时间域内获取多幅干涉图，对外界环境的影响比较敏感；

（二）双剪切干涉波面测量仪：利用偏振移相的原理机械旋转检偏器产生相移，通过平行板实现剪切干涉图，在时间域内获取多幅干涉图，对外界环境的影响比较敏感；

（三）基于马赫-曾德尔型的剪切波面测量仪：采用PZT按照一定时间顺序进行机械运动实现移相，对于移相干涉图的获取需要在时间域进行，环境的变化将对测量结果产生影响；通过四个反射平板设置在一定的空间姿态下实现剪切，反射平板的反射表面面形误差和空间定位误差将降低系统的测量精度。

可见：现有的移相横向剪切仪存在需要连续机械运动移相元件产生相移，操作繁琐；在时间域内获取的多幅干涉图容易受外界环境的影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对上述背景技术的不足，提供了一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法。

本发明为实现上述发明目的采用如下技术方案：

一种同步移相横向剪切干涉仪，包括置于壳体内的光学元器件、高速图像采集卡和计算机，所述光学元器件包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置的分束镜；

所述光学元器件还包括：两个剪切板组，两个CCD图像传感器；所述两个剪切板组镜像分布在分束镜两侧，两个CCD图像传感器与剪切板组反射光方向垂直。

所述一种同步移相横向剪切干涉仪的剪切板组包括两个平行设置的剪切板。

所述一种同步移相横向剪切干涉仪中，衍射光栅为振幅型Ronchi光栅。

一种如权利要求3所述的同步移相横向剪切干涉仪的检测方法，包括如下步骤：

步骤1，调整两个衍射光栅的栅线方向平行，根据干涉图间距以及衍射光栅与主光轴的夹角设置两个光栅间隔距离；

步骤2，在空间滤波器上等间隔设置N个平行于栅线的狭缝，实现对两光栅衍射光束中（±m，±n）级衍射光通过；

其中：m，n为非负整数，分别表示两个衍射光栅的衍射级次；N为大于等于3的整数，取值取决于计算一维剪切干涉波面时采用的移相算法步数；

步骤3，对于每一个剪切板组：调节两个剪切板之间的空隙距离以获得干涉图像并调节横向剪切量，调节两个剪切板之间的夹角获得所需移相量来位移干涉图像；

步骤4，调节两个光栅之间的距离，以调整干涉图像之间的距离；

步骤5，CCD图像传感器采集的X向剪切干涉图与Y向剪切干涉图，计算机同步采集CCD图像传感器的输出值并根据条纹处理算法计算待测波前分布。

本发明采用上述技术方案，具有以下有益效果：

（1）可以同步获取两组一维移相横向剪切干涉图（X向剪切、Y向剪切），由于多幅干涉图是在同一时刻获取的，外界环境对每幅干涉图的影响相同，可在后续的算法中消除，因此大大降低对环境的要求。

（2）在移相剪切干涉图获取过程中，相移的实现不需要机械运动机构：对于所需的移相量、横向剪切量可在测试前通过调整双平板夹角和间距实现。