[发明专利]一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法

权利要求书

1.一种同步移相横向剪切干涉仪，包括置于壳体内的光学元器件、高速图像采集卡和计算机，所述光学元器件包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置的分束镜；

其特征在于所述光学元器件还包括：两个剪切板组，两个CCD图像传感器；所述两个剪切板组镜像分布在分束镜两侧，两个CCD图像传感器与剪切板组反射光方向垂直。

2.根据权利要求1所述的一种同步移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述剪切板组包括两个平行设置的剪切板。

3.根据权利要求1或2所述的一种同步移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述衍射光栅为振幅型Ronchi光栅。

4.一种如权利要求3所述的同步移相横向剪切干涉仪的检测方法，其特征在于包括如下步骤：

       步骤1，调整两个衍射光栅的栅线方向平行，根据干涉图间距以及衍射光栅与主光轴的夹角设置两个光栅间隔距离；

       步骤2，在空间滤波器上等间隔设置N个平行于栅线的狭缝，实现对两光栅衍射光束中（±m，±n）级衍射光通过；

其中：m，n为非负整数，分别表示两个衍射光栅的衍射级次；N为大于等于3的整数，取值取决于计算一维剪切干涉波面时采用的移相算法步数；

步骤3，对于每一个剪切板组：调节两个剪切板之间的空隙距离以获得干涉图像并调节横向剪切量，调节两个剪切板之间的夹角获得所需移相量来位移干涉图像；

步骤4，调节两个光栅之间的距离，以调整干涉图像之间的距离；

步骤5，CCD图像传感器采集的X向剪切干涉图与Y向剪切干涉图，计算机同步采集CCD图像传感器的输出值并根据条纹处理算法计算待测波前分布。