[发明专利]测试分选机

摘要

公开了一种测试分选机，其中公开了通过使用制动单元或第二馈送单元在停止位置处牢固地保持从测试室向去浸泡室馈送的测试托盘的技术。

主权项

测试分选机，包括：测试托盘，在所述测试托盘上装载有半导体装置，并且所述测试托盘沿封闭路径循环；装载单元，将对象托盘上的未测试半导体装置移动至位于装载位置的所述测试托盘；浸泡室，在测试之前，根据测试环境条件预加热或预冷却装载在从所述装载位置馈送的所述测试托盘上的所述半导体装置；测试室，支持装载于在所述半导体装置在所述浸泡室内被预加热或预冷却之后被馈送至测试位置的所述测试托盘上的所述半导体装置的测试；去浸泡室，将装载在从所述测试室馈送的所述测试托盘上的所述半导体装置恢复至室温；卸载单元，将装载在从所述去浸泡室馈送至卸载位置的所述测试托盘上的所述半导体装置移动至空的对象托盘；第一馈送单元，将所述浸泡室中的所述测试托盘馈送至所述测试室；制动单元，在装载的半导体装置的测试完成之后，根据所述第一馈送单元的操作，使从所述测试室向所述去浸泡室馈送的所述测试托盘停止在所需的停止位置；以及第二馈送单元，将由所述制动单元停止的所述测试托盘从所述停止位置馈送至所述去浸泡室中的所需设定位置，其中，所述制动单元包括：制动器，使所述测试托盘停止在所需的停止位置；锁定器，保持当与所述制动器碰撞时由所述制动器的反作用力而倾向于沿与所述馈送方向相反的方向返回的所述测试托盘；释放器，使所述锁定器释放所述测试托盘使得所述测试托盘被所述第二馈送单元从所述停止位置馈送至设定位置；以及操作器，操作所述制动器，使得所述制动器位于所述封闭路径中或脱离所述封闭路径。