[发明专利]用于高电压静电放电防护的双向双极型结晶体管有效

专利信息
申请号: 201210521409.9 申请日: 2012-12-07
公开(公告)号: CN103855152A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: 陈信良;洪志临;杜硕伦 申请(专利权)人: 旺宏电子股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L27/06;H01L21/8249
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种用于高电压静电放电防护的双向双极型结晶体管及其制作方法、包含该双向双极型结晶体管的电路,该双向双极型结晶体管包含一衬底、一N+掺杂埋层、一N型阱区、和两个P型阱区。该N+掺杂埋层可以邻近于该衬底而被设置。该N型阱区可以围绕该两个P型阱区,从而使该N型阱区的一部分被安插于该两个P型阱区之间。该多个P型阱区可以邻近于该N+掺杂埋层而被设置,且包含一或更多的N+掺杂板、一或更多的P+掺杂板、一或更多的场氧化物(FOX)部分、和一或更多的场板。一多重射极结构也被提供。
搜索关键词: 用于 电压 静电 放电 防护 双向 双极型 结晶体
【主权项】:
一种双向双极型结晶体管(BJT),包含:一p型衬底;一N+掺杂埋层,邻近于该衬底而被设置;一第一P型阱区,邻近于该N+掺杂埋层而被设置;一第二P型阱区,邻近于该N+掺杂埋层而被设置;一N型阱区,邻近于该N+掺杂埋层,且围绕该第一和该第二P型阱区,从而使该N型阱区的至少一部分被安插于该第一和该第二P型阱区之间;第一、第二和第三场氧化物(FOX)部分,邻近于该N型阱区而被设置;以及第一、第二、第三和第四场板,该第一场板邻近于该第一FOX部分而被设置,该第二和该第三场板邻近于该第二FOX部分的各自部分而被设置,且该第四场板邻近于该第三FOX部分而被设置;其中该第一和该第二P型阱的每个包含至少一N+掺杂板和至少一P+掺杂板。
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