[发明专利]光学检查系统用振动噪声校正装置及方法

摘要

本发明提供一种光学检查系统用振动噪声校正装置及方法，其能够防止振动噪声引起的错误检测。本发明一实施方式的光学检查系统用振动噪声校正装置包括：以一定的亮度对被检查物照射光的第一照明部，以如下方式设置的第二照明部，即在被检查物发生振动噪声时，以与第一照明部相同的亮度对被检查物照射光；以一定的速度交替地接通、断开第一照明部和第二照明部的照明控制部；用于取得第一照明部和第二照明部照射的被检查物的第一图片和第二图片的拍摄部；以及在被检查物发生振动噪声时，将第一图片替换为第二图片的图像处理部。

主权项

一种光学检查系统用振动噪声校正装置，包括：第一照明部，以一定的亮度对被检查物照射光；第二照明部，以如下方式对其进行设置，即，在所述被检查物发生振动噪声的情况下，以与所述第一照明部相同的亮度对所述被检查物照射光；照明控制部，以一定的速度交替地接通、断开所述第一照明部和所述第二照明部；拍摄部，用于取得所述第一照明部和所述第二照明部照射的所述被检查物的第一图片和第二图片；以及图像处理部，在所述被检查物发生振动噪声的情况下，将所述第一图片替换为所述第二图片。