[发明专利]光学检查系统用振动噪声校正装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学检查技术，更详细而言，涉及能够防止振动噪声引起的错误检测的、光学检查系统用振动噪声校正装置及方法。

背景技术

光学检查系统是指，用照相机拍摄例如印制电路板、偏振片、光学膜片、相位差膜、离型膜等各种片状产品的外观，并基于所拍摄的图像检测该产品是否有缺陷、尘埃、异物及不均等不良情况的系统。

片状产品一般通过卷对卷（Roll-to-Roll）方式移动，但在此时，有可能因电机的周期性振动或者外部冲击而发生不规则振动。此种情况下，振动噪声会导致在光学检查系统中发生错误检测。

例如，在偏振片的情况下，有时在制造过程中由于染料的染色不均或粘接不良等，而在偏振片的延伸方向上产生线条状不均，当用光学照相机拍摄产生了不均的偏振片时，所拍摄的图像在产生不均的部分出现亮度偏差。

但是，在检查过程中产生振动噪声时，也会在所拍摄的图像上出现亮度偏差。即，如图1所示，可以确认当在偏振片的移动中产生振动噪声时，在所拍摄的图像中在发生振动噪声的部分显示出亮度偏差。这里，M/D方向是指偏振片的移动方向。此时，很难判断亮度偏差是由于不均而产生的，还是由于振动噪声而产生的，从而发生错误检测。因此，需要一种在检查过程中，当发生振动噪声时能够防止振动噪声引起的错误检测的装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够防止振动噪声引起的错误检测的光学检查系统用振动噪声校正装置及方法。

1、一种光学检查系统用振动噪声校正装置，包括：第一照明部，以一定的亮度对被检查物照射光；第二照明部，以如下方式对其进行设置，即在所述被检查物发生振动噪声的情况下，以与所述第一照明部相同的亮度对所述被检查物照射光；照明控制部，以一定的速度交替地接通、断开所述第一照明部和所述第二照明部；拍摄部，用于取得所述第一照明部和所述第二照明部照射的所述被检查物的第一图片和第二图片；以及图像处理部，在所述被检查物发生振动噪声的情况下，将所述第一图片替换为所述第二图片。

2、在方案1中，所述图像处理部在满足如下两个条件中的至少一个条件的情况时，判断为所述被检查物发生了所述振动噪声，所述两个条件是，所述第一图片示出的缺陷的缺陷宽度超过已设定的缺陷宽度、以及所述第一图片示出的缺陷的缺陷长度小于已设定的缺陷长度。

3、在方案1中，所述拍摄部包括：用于取得所述第一照明部照明的所述被检查物的第一图片的第一拍摄部、以及用于取得所述第二照明部照射的所述被检查物的第二图片的第二拍摄部。

4、在方案1中，所述光学检查系统用振动噪声校正装置还包括测定所述第一照明部和所述第二照明部的照度值的照度测定部。

5、当所述照度测定部的照度值的测定结果是所述第一照明部和所述第二照明部的照度值与初始照度值不同的情况下，所述照明控制部将所述第一照明部和第二照明部的照度值维持在所述初始照度值。

6、一种光学检查系统用振动噪声校正方法，包括：照明控制部以一定的速度交替地接通、断开第一照明部和第二照明部的步骤、拍摄部取得所述第一照明部和第二照明部照射的被检查物的第一图片和第二图片的步骤、以及在所述被检查物发生振动噪声的情况下，图像处理部将所述第一图片替换为所述第二图片的步骤，其中，将所述第二照明部设置成在发生所述振动噪声的情况下，以与所述第一照明部同样的亮度对所述被检查物照射光。

7、方案6中，将所述第一图片替换为所述第二图片的步骤包括：所述图像处理部判断所述被检查物是否发生振动噪声的步骤，所述图像处理部在满足如下两个条件中的至少一个条件的情况下，判断所述被检查物发生了噪声，其中，所述两个条件是，所述第一图片示出的缺陷的缺陷宽度超过已设定的缺陷宽度和、所述第一图片示出的缺陷的缺陷长度小于已设定的缺陷长度。

8、在方案6中，在以一定的速度交替地接通、断开所述第一照明部和所述第二照明部的步骤之后还包括：所述照度测定部测定所述第一照明部和所述第二照明部的照度值的步骤；和在所述第一照明部和所述第二照明部测定的照度值与初始照度值不同的情况下，所述照明控制部按初始照度值维持所述第一照明部和所述第二照明部的照度值的步骤。

根据本发明，在检查过程中产生振动噪声时，将示出了振动噪声引起的亮度偏差的被检查物的第一图片替换为未示出振动噪声引起的亮度偏差的被检查物的第二图片而进行检查，由此能够防止振动噪声引起的错误检测。因此，能提高光学检查系统的可靠性和准确性。

附图说明

图1是表示振动噪声引起的亮度偏差的图。