[发明专利]光学检查系统用振动噪声校正装置及方法

权利要求书

1.一种光学检查系统用振动噪声校正装置，包括：

第一照明部，以一定的亮度对被检查物照射光；

第二照明部，以如下方式对其进行设置，即，在所述被检查物发生振动噪声的情况下，以与所述第一照明部相同的亮度对所述被检查物照射光；

照明控制部，以一定的速度交替地接通、断开所述第一照明部和所述第二照明部；

拍摄部，用于取得所述第一照明部和所述第二照明部照射的所述被检查物的第一图片和第二图片；以及

图像处理部，在所述被检查物发生振动噪声的情况下，将所述第一图片替换为所述第二图片。

2.如权利要求1所述的光学检查系统用振动噪声校正装置，其特征在于，

所述图像处理部在满足如下两个条件中的至少一个条件的情况时，判断为所述被检查物发生了所述振动噪声，所述两个条件是所述第一图片示出的缺陷的缺陷宽度超过已设定的缺陷宽度、以及所述第一图片示出的缺陷的缺陷长度小于已设定的缺陷长度。

3.如权利要求1所述的光学检查系统用振动噪声校正装置，其特征在于，

所述拍摄部包括：用于取得所述第一照明部照明的所述被检查物的第一图片的第一拍摄部、以及用于取得所述第二照明部照射的所述被检查物的第二图片的第二拍摄部。

4.如权利要求1所述的光学检查系统用振动噪声校正装置，其特征在于，

所述光学检查系统用振动噪声校正装置还包括用于测定所述第一照明部和所述第二照明部的照度值的照度测定部。

5.如权利要求4所述的光学检查系统用振动噪声校正装置，其特征在于，

当所述照度测定部的照度值的测定结果是所述第一照明部和所述第二照明部的照度值与初始照度值不同的情况下，所述照明控制部按所述初始照度值维护所述第一照明部和第二照明部的照度值。

6.一种光学检查系统用振动噪声校正方法，包括：照明控制部以一定的速度交替地接通、断开第一照明部和第二照明部的步骤；拍摄部取得所述第一照明部和第二照明部照射的被检查物的第一图片和第二图片的步骤；以及在所述被检查物发生振动噪声的情况下，图像处理部将所述第一图片替换为所述第二图片的步骤，其中，

将所述第二照明部设置成在发生所述振动噪声的情况下，以与所述第一照明部同样的亮度对所述被检查物照射光。

7.如权利要求6所述的光学检查系统用振动噪声校正方法，其中，

将所述第一图片替换为所述第二图片的步骤包括：所述图像处理部判断所述被检查物是否发生振动噪声的步骤，并且所述图像处理部在满足如下两个条件中的至少一个条件的情况下，判断所述被检查物发生了所述振动噪声，所述两个条件是，所述第一图片示出的缺陷的缺陷宽度超过已设定的缺陷宽度、以及所述第一图片示出的缺陷的缺陷长度小于已设定的缺陷长度。

8.如权利要求6所述的光学检查系统用振动噪声校正方法，其中，在以一定的速度交替地接通、断开所述第一照明部和所述第二照明部的步骤之后，还包括以下步骤：

所述照度测定部测定所述第一照明部和所述第二照明部的照度值的步骤；

在所述第一照明部和所述第二照明部的测定照度值与初始照度值不同的情况下，所述照明控制部按初始照度值维持所述第一照明部和所述第二照明部的照度值的步骤。