[发明专利]一种四探针测试仪的校准方法无效
| 申请号： | 201210469156.5 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102928801A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 郝帅 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四探针测试仪的校准方法，先通过标准模块用四探针测试仪自身的校准程序进行校准，然后再通过硅片标准片进行校准，使其测得的硅片标准片方阻的测试值接近于硅片标准片的方阻值。经过两次校准后，四探针测试仪检测硅片方阻时测得的方阻值更接近与准确值，减小了四探针测试仪的检测误差，提高了四探针测试仪检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 测试仪 校准 方法 | ||
【主权项】：
一种四探针测试仪的校准方法，包括以下步骤：1）用标准模块对四探针测试仪进行校准；2）用硅片标准片对四探针测试仪进行校准。
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