[发明专利]一种四探针测试仪的校准方法无效
| 申请号： | 201210469156.5 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102928801A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 郝帅 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探针 测试仪 校准 方法 | ||
1.一种四探针测试仪的校准方法，包括以下步骤：
1）用标准模块对四探针测试仪进行校准；
2）用硅片标准片对四探针测试仪进行校准。
2.如权利要求1所述的四探针测试仪的校准方法，其特征在于，步骤1）中具体包括以下步骤：
11）四探针测试仪检测标准模块，测得标准模块的检测电阻值；
12）比较标准模块的检测电阻值与标准模块的电阻值是否一致；
13）若不一致，启动四探针测试仪自身的校准程序进行校准。
3.如权利要求2所述的四探针测试仪的校准方法，其特征在于，步骤2）中具体包括以下步骤：
21）四探针测试仪检测硅片标准片，测得硅片标准片的检测电阻值；
22）比较硅片标准片的检测电阻值与硅片标准片的电阻值是否一致；
23）若不一致，调整四探针测试仪的探头，使硅片标准片的检测电阻值等于硅片标准片的电阻值。
4.如权利要求1至3任一项所述的四探针测试仪的校准方法，还包括步骤3）用若干硅片标准片对校准后的四探针测试仪进行校准。
5.如权利要求4所述的四探针测试仪的校准方法，其特征在于，步骤3）中具体包括以下步骤：
31）用标准设备标定若干硅片的电阻值，做为硅片标准片；用四探针测试仪检测若干硅片标准片，测得硅片标准片的检测电阻值；
32）比较硅片标准片的检测电阻值与硅片标准片的标定电阻值是否一致；
33）若不一致，调整四探针测试仪的探头，使硅片标准片的检测电阻值等于硅片标准片的标定电阻值。
6.如权利要求5所述的四探针测试仪的校准方法，其特征在于，所述硅片标准片至少为两件。
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