[发明专利]抗热变形的电容薄膜式压力传感器

摘要

本发明属于机械设计和真空计量技术领域，具体涉及一种电容薄膜压力传感器。一种抗热变形的电容薄膜式压力传感器，它包括：机架（1）、底架（2）、薄膜（3）、陶瓷焊料、电极板（5）与电极板导线（6）；薄膜（3）将机架（1）与底架（2）分隔成两个腔室，机架（1）与薄膜（3）之间的腔室为待测气室，电极板（5）安装于待测气室中，并通过陶瓷焊料与机架（1）顶板上的凹槽周向连接；陶瓷焊料的热膨胀系数不仅低于机架（1）的热膨胀系数还低于电极板（5）的热膨胀系数，因此冷却时收缩的更慢从而抵消了机架（1）的收缩，阻止了机架上部向内的弯曲，从而保证了传感器的测量精度。

主权项

一种抗热变形的电容薄膜式压力传感器，其特征是，它包括：机架（1）、底架（2）、薄膜（3）、陶瓷焊料、电极板（5）与电极板导线（6）；所述机架（1）包括：顶板与侧板，所述侧板位于所述顶板的下方，对所述顶板形成周向支撑，所述机架（1）的纵剖面为n型结构，所述顶板上开有两个通孔，一个为进气孔（7），另一个为电线引出口（9），所述顶板的下表面中央位置开有凹槽；薄膜（3）焊接在所述机架（1）侧板的下端面，将所述机架（1）封闭为待测气室；所述底架（2）的上表面设有环形凸台，所述环形凸台的外径等于所述薄膜（3）的直径，所述底架（2）通过其上的环形凸台与所述薄膜（3）的边缘焊接，所述底架（2）中央开有通孔，所述通孔为抽气孔（8）；所述电极板（5）安装于所述待测气室中，它包括：电极圆盘（5‑1）以及安装于所述电极圆盘（5‑1）上表面中央位置的电极支柱（5‑2），在所述电极圆盘（5‑1）与所述电极支柱（5‑2）的连接处设有环形凹槽（5‑3），所述电极支柱（5‑2）通过所述陶瓷焊料套接在所述机架（1）顶板下表面的凹槽内，所述电极支柱（5‑2）的上端面距所述机架（1）顶板间留有缝隙，所述电极板（5）悬挂于所述待测气室中；所述电极板导线（6）一端与所述电极圆盘（5‑1）连接，另一端通过所述电线引出口（9）引出，并在所述电线引出口（9）处通过所述陶瓷焊料密封。