[发明专利]成膜装置及粒子捕获板无效
| 申请号： | 201210439445.0 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103184409A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 饭尾逸史;铃木敦典 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够有效地抑制堆积膜的剥离的成膜装置及粒子捕获板。本发明的成膜装置（1）具备配置于真空容器（3）内的粒子捕获板（30），在粒子捕获板（30）的表面（30a）中形成有第1凹凸（32）和第2凹凸（34），该第2凹凸设置于第1凹凸（32）上且比第1凹凸（32）微小。由此，能够有效地抑制堆积膜的剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 粒子 捕获 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其具备进行成膜处理的成膜室，该成膜处理用于在被成膜件上将成膜材料成膜，其特征在于，具备配置于所述成膜室内的粒子捕获板，在所述粒子捕获板的表面形成有第一凹凸和第二凹凸，该第二凹凸设置于所述第一凹凸上且比所述第一凹凸微小。
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