[发明专利]成膜装置及粒子捕获板

权利要求书

1.一种成膜装置，其具备进行成膜处理的成膜室，该成膜处理用于在被成膜件上将成膜材料成膜，其特征在于，

具备配置于所述成膜室内的粒子捕获板，

在所述粒子捕获板的表面形成有第一凹凸和第二凹凸，该第二凹凸设置于所述第一凹凸上且比所述第一凹凸微小。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

通过第1加工形成所述第一凹凸，

通过在所述第1加工后实施的第2加工形成所述第2凹凸。

3.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述第1加工为滚花加工，

所述第2加工为气喷加工。

4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一凹凸为通过所述滚花加工形成的十字纹。

5.如权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一凹凸的间距为1.6mm，

所述第一凹凸的槽的深度为0.7mm。

6.如权利要求1～5中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

在所述粒子捕获板的所述表面的相反侧的背面设置有冷却板。

7.如权利要求1～4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述粒子捕获板为铜制板。

8.如权利要求1～4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述粒子捕获板的板厚为3mm。

9.如权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述冷却板通过双头螺栓及螺母一体设置于所述粒子捕获板。

10.一种粒子捕获板，配置于成膜装置的成膜室内，其特征在于，

在表面上形成有第一凹凸和第二凹凸，该第二凹凸设置于所述第一凹凸上且比所述第一凹凸微小。

11.如权利要求10所述的粒子捕获板，其特征在于，

通过第1加工形成所述第一凹凸，

通过所述第1加工后实施的第2加工形成所述第二凹凸。

12.如权利要求11所述的粒子捕获板，其特征在于，

所述第1加工为滚花加工，

所述第2加工为气喷加工。

13.如权利要求12所述的粒子捕获板，其特征在于，

所述第一凹凸的间距为1.6mm，

所述第一凹凸的槽的深度为0.7mm。