[发明专利]卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构有效
| 申请号： | 201210416612.X | 申请日： | 2012-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102899625A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 马健伟;宋亚瑞;施微;李芳;齐增禄 | 申请（专利权）人： | 东北石油大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 哈尔滨东方专利事务所 23118 | 代理人： | 曹爱华 |
| 地址： | 163319 黑龙江省*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及的是卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架、联动挡板、托辊架，托辊架有可上下相对运动的滑动杆，联动挡板的两端各设置一支架，托辊架固定在支架上，托辊则安装在托辊架的滑动杆上端；联动挡板与托辊架之间安装连杆，连杆的上端与联动挡板活动连接，连杆的下端与托辊架的滑动杆活动连接；联动挡板由两片合叶组成，两片合叶由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。本发明结构简单，能有效的克服了带材镀膜过程中产生的边框效应，使得卧式磁控溅射镀膜系统的设计简约，容易实现，大大降低了系统的复杂性。 | ||
| 搜索关键词： | 卷绕 磁控溅射 镀膜 系统 边框 效应 克服 机构 | ||
【主权项】：
一种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于：这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架（1）、联动挡板（7）、托辊架（4），托辊架（4）有可上下相对运动的滑动杆（6），联动挡板（7）的两端各设置一支架（1），托辊架（2）固定在支架（1）上，托辊（4）则安装在托辊架（2）的滑动杆上端；联动挡板（7）与托辊架之间安装连杆（5），连杆（5）的上端与联动挡板（7）活动连接，连杆（5）的下端与托辊架的滑动杆（6）活动连接；联动挡板（7）由两片合叶（3）组成，两片合叶（3）由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。
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