[发明专利]卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构

说明书

一、     技术领域：

本发明涉及的是克服边框效应机构，具体涉及的是卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构。

二、背景技术：

目前在卷绕镀膜过程，为克服带材的边框效应，常采取的方式是带材绕在一个大直径的托辊上，或者通过气氛补偿的方式来克服边框效应。而采用前种类型克服的方式，卷绕系统体积相对庞大，而且不能设计成卧式卷绕镀膜系统，从而极大的增加了系统的成本；可采用第二种方式，增加了系统内部结构的复杂性，同样带来系统的成本的增加的问题外，还会给后来的使用者带来了诸多的不方便。

三、发明内容：

本发明的一个目的是提供卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，它用于解决现有的克服边框效应的方式成本高、结构复杂的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架、联动挡板、托辊架，托辊架有可上下相对运动的滑动杆，联动挡板的两端各设置一支架，托辊架固定在支架上，托辊则安装在托辊架的滑动杆上端；联动挡板与托辊架之间安装连杆，连杆的上端与联动挡板活动连接，连杆的下端与托辊架的滑动杆活动连接；联动挡板由两片合叶组成，两片合叶由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。

上述方案中托辊架由固定座和滑动杆构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆的下端为水平块，所述的连杆对称设置在滑动杆的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。

上述方案中合叶为一框体，框体之间设置有连接杆，连接杆将框体的两个侧边框连接起来，相邻的两个连接杆之间为方形孔，这样合叶上的无效部位掏空后，可减轻合叶整体的重量，使其张开或合拢时更容易。

有益效果：

1、本发明结构简单，能有效的克服了带材镀膜过程中产生的边框效应，使得卧式磁控溅射镀膜系统的设计简约，容易实现，大大降低了系统的复杂性，从而做到低成本实现卧式磁控溅射镀膜系统。

2、本发明联动挡板的两端均设计了托辊架，并且通过对称的连杆将合页与托辊架的滑动杆活动连接在一起，使联动挡板与滑动杆有一个联动关系，且反应灵活，易于将边框效应外移到联动挡板上。

四、附图说明：

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明中合页的结构示意图；

图3是本发明中支架的结构示意图；

图4是本发明中联动挡板的结构示意图。

1支架，2托辊架，3合叶，4托辊，5连杆，6滑动杆，7联动挡板 SHAPE  /* MERGEFORMAT 。

五、具体实施方式：

下面结合附图对本发明做进一步的说明：

如图1所示，这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架1、联动挡板7、托辊架2，联动挡板7的两端各设置一支架1，参阅图3，支架1为一底座，支架1的四个角上有螺栓孔，支架1通过螺栓固定，支架1上还设置有托辊架2安装孔；托辊架2固定在支架1上，托辊4则安装在托辊架2的滑动杆6上端，滑动杆6在托辊4的压力下，可向下滑动；联动挡板7与托辊架2之间安装连杆5，连杆5的上端与联动挡板7通过小轴活动连接，连杆5的下端与托辊架的滑动杆6活动连接，横置在托辊架2之间的联动挡板7，通过两端连接的连杆5与托辊架2形成一个联动关系，从而将对带材的边框效应转移到联动挡板7上。

如图4所示，联动挡板7由两片合叶3组成，在每块合叶边缘设置有销钉穿孔，当销钉接入穿孔后，以销钉为旋转中轴的两片合叶合二为一整块联动挡板7，两片合叶的角度可大小变化，

本发明中托辊架2由固定座和滑动杆6构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆6穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆6的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆6的下端为水平块，所述的连杆5对称设置在滑动杆6的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。

如图2所示，合叶3为一框体，框体之间设置有连接杆，连接杆将框体的两个侧边框连接起来，相邻的两个连接杆之间为方形孔，这样合叶3上的无效部位掏空后，可减轻合叶3整体的重量。

本发明工作时，联动挡板7因卷绕带材（镀膜的基片）收放运动的张力对其有下压力的作用，而张开一定角度，同时带动连杆5运动，最终带动托辊架2往上运动，最终达到一个动态平衡的状态，而联动挡板7则紧贴着运动的带材，使得边框效应外移到联动挡板7上；反之，如果当带材宽度较窄的情况下，带材的张力作用在托辊4上，使得托辊架2有下压的运动，通过连杆5带动联动挡板7合拢，紧贴在运动的带材两边缘上，最终也会达到一个动态平衡的状态，同样使得边框效应外移到联动挡板7上。