[发明专利]卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构

权利要求书

1.一种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于：这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架（1）、联动挡板（7）、托辊架（4），托辊架（4）有可上下相对运动的滑动杆（6），联动挡板（7）的两端各设置一支架（1），托辊架（2）固定在支架（1）上，托辊（4）则安装在托辊架（2）的滑动杆上端；联动挡板（7）与托辊架之间安装连杆（5），连杆（5）的上端与联动挡板（7）活动连接，连杆（5）的下端与托辊架的滑动杆（6）活动连接；联动挡板（7）由两片合叶（3）组成，两片合叶（3）由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。

2.根据权利要求1所述的卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于：所述的托辊架（2）由固定座和滑动杆（6）构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆（6）穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆（6）的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆（6）的下端为水平块，所述的连杆（5）对称设置在滑动杆（6）的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。

3.根据权利要求1或2所述的卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于：所述的合叶（3）为一框体，框体之间设置有连接杆，连接杆将框体的两个侧边框连接起来，相邻的两个连接杆之间为方形孔。