[发明专利]用于对电子电路的晶片进行测试的测试装置以及相关方法

摘要

本发明涉及用于对电子电路的晶片进行测试的测试装置以及相关方法。公开的测试装置(100)用于测试电子电路的晶片(11)，包括设置有三个功能块(12，13，14)的测量头(10)，每一者均能够彼此独立的移动，以对电池或晶片(11)执行不同的阻抗测量。每一个功能块(12，13，14)均支持各个测量探头(15)，其适于被布置为与晶片(11)上制成的金属线或手指(16)发生接触。

主权项

一种测试装置，用于测试板，其包括：测试头，其具有第一、第二以及第三功能块，其中，每一个功能块能够彼此独立地移动，并且适于在包括衬底的板上执行不同的阻抗测量，所述板包括金属线或手指；并且其中，所述第一功能块包括测量探头，其被布置并被构造以测量衬底的表面阻抗，所述第二功能块包括测量探头，其被布置并被构造以测量两个相对手指之间的总阻抗，并且所述第三功能块包括测量探头，其被布置并被构造以测量三个相邻手指之间的端子端阻抗。