[发明专利]用于对电子电路的晶片进行测试的测试装置以及相关方法

权利要求书

1.一种测试装置，用于测试板，其包括：

测试头，其具有第一、第二以及第三功能块，其中，每一个功能块能够彼此独立地移动，并且适于在包括衬底的板上执行不同的阻抗测量，所述板包括金属线或手指；并且

其中，所述第一功能块包括测量探头，其被布置并被构造以测量衬底的表面阻抗，所述第二功能块包括测量探头，其被布置并被构造以测量两个相对手指之间的总阻抗，并且所述第三功能块包括测量探头，其被布置并被构造以测量三个相邻手指之间的端子端阻抗。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，所述测量探头中每一者均包括一个或更多导电线。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其中，所述导电线由钨制成。

4.根据权利要求2所述的测试装置，其中，所述第一、第二或第三功能块中至少一者的所述测量探头包括四个探头，每一个测量探头分别包括至少一个导电线，并且至少两个所述测量探头适于注入电流，而其他两个测量探头适于执行对电压的测量。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其中，对于每一个测量探头而言，所述导电线彼此大致平行布置。

6.根据权利要求4所述的测试装置，还包括开关，其电连接至所述测量头，由此选择性地激励所述测量头的所述功能块中至少一者。

7.一种方法，用于测试前述任一权利要求中的板，其中，所述板包括衬底，其上设置有金属线或手指，所述方法包括：

使所述板上存在的多个所述金属线或手指绝缘；

设计栅，用于构建基本单元，在其上执行所述测量，并且

分别利用构成所述测量头的第一、第二以及第三功能块，对于所述基本单元中每一者，执行顺序测量步骤，所述顺序测量步骤包括：

利用所述第一功能块来测量所述表面阻抗，

利用所述第二功能块来测量所述总阻抗，并且

利用所述第三功能块来测量所述端子端阻抗。

8.根据权利要求7所述的方法，还包括，基于从所述第一、第二以及第三功能块获得的全部测量结果，来计算所述基本单元中一者的端子阻抗。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括：

对于所述板被划分成的全部所述基本单元，重复所述顺序测量步骤；并且

获得所述板的所述端子阻抗的所述整体值。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，通过激光或机械切割来使所述金属线或手指绝缘。

11.一种测试装置，用于测试太阳能电池，包括：

控制单元；

与所述控制单元电通信的电源；

与所述控制单元电通信的电压表；以及

测量头，其与所述控制单元电通信，所述测量头具有第一功能块，第二功能块以及第三功能块，其中，每一个功能块均适于测量太阳能电池的一个或多个特性，使得所述第一功能块适于测量所述太阳能电池的单位面积的片阻抗，所述第二功能块适于测量在所述太阳能电池上形成的两个绝缘手指之间的总阻抗，并且所述第三功能块适于利用三个相邻手指来测量所述太阳能电池的一部分的端子端阻抗。

12.根据权利要求11所述的测试装置，其中，所述第一、第二以及第三功能块中每一者分别包括四个测量探头。

13.根据权利要求12所述的测试装置，其中，至少所述第二以及第三功能块上的所述测量探头被构造，使得所述测量探头的一部分可被改变，以适于正被测试的所述太阳能电池的尺寸或类型。

14.根据权利要求13所述的测试装置，其中，在所述功能块中一者上的所述四个测量探头可独立于其他两个功能块上升或降低。

15.根据权利要求14所述的测试装置，其中，通过抬升或降低所述功能块来使在所述功能块中一者上的所述四个测量探头上升或降低。

16.根据权利要求11所述的测试装置，还包括开关，其与所述控制单元以及所述测量头电通信。

17.根据权利要求16所述的测试装置，其中，所述开关与所述电源、所述电压表以及每一个所述功能块电通信。

18.根据权利要求17所述的测试装置，还包括移动单元，其中所述移动单元被构造以使被测试的所述太阳能电池移动，并且所述移动单元还包括所述测量头。

19.根据权利要求17所述的测试装置，还包括电子检测单元，其中，所述电子检测单元包括所述电源、所述电压表以及所述开关。