[发明专利]一种加工至少一个管芯的方法和管芯装置有效
| 申请号： | 201210400856.9 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102969298A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | J·马勒;I·尼基廷 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L21/48;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谢攀;李浩 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及加工至少一个管芯的方法和管芯装置。在各种实施例中，一种加工至少一个管芯的方法可包括：在至少一个管芯的至少一个接触垫之上形成至少一个占位元件；形成管芯嵌入层以至少部分地使所述至少一个管芯和所述至少一个占位元件嵌入；移除所述至少一个占位元件以在至少一个管芯嵌入层中形成至少一个开口且暴露出所述至少一个管芯的所述至少一个接触垫；用导电材料填充所述至少一个开口以电接触所述至少一个管芯的所述至少一个接触垫。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 至少 一个 管芯 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种加工至少一个管芯的方法，该方法包括：在至少一个管芯的至少一个接触垫之上形成至少一个占位元件；形成管芯嵌入层以至少部分地使所述至少一个管芯和所述至少一个占位元件嵌入；移除所述至少一个占位元件以在管芯嵌入层中形成至少一个开口且暴露出所述至少一个管芯的所述至少一个接触垫；用导电材料填充所述至少一个开口以电接触所述至少一个管芯的所述至少一个接触垫。
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