[发明专利]半导体剥离溶剂的回收系统无效
| 申请号： | 201210397432.1 | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN102908792A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 黄文宏;黄敏龙;周泽川;王秀枝;杨秉丰 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/00 | 分类号： | B01D3/00;C07C7/04 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体剥离溶剂的回收系统，其包含一剥离器、一蒸馏器、一热交换器及一混合器，所述半导体剥离溶剂的回收系统主要将所述剥离器使用过的剥离溶剂通过所述蒸馏器、热交换器及混合器纯化后回收使用，除了可节省剥离溶剂的材料成本外，也符合环保概念。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 剥离 溶剂 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述半导体剥离溶剂的回收系统包含：一剥离器，产出一使用过的一种剥离溶剂；一热交换器，输入所述使用过的剥离溶剂并将其预热；及一蒸馏器，输入所述预热过的剥离溶剂，并蒸馏纯化出一剥离溶剂蒸气；其中所述剥离溶剂蒸气系输入热交换器而与所述使用过的剥离溶剂进行热交换，以预热所述使用过的剥离溶剂，并使所述剥离溶剂蒸气冷凝为一纯化回收液。
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