[发明专利]半导体剥离溶剂的回收系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体剥离溶剂的回收系统，特别是涉及一种具有热交换器以提高蒸馏纯化效率的半导体剥离溶剂的回收系统。

背景技术

在半导体制造领域中，许多制作过程因为步骤较为繁杂而使得制造成本提高。例如硅穿导孔(TSV，Through-Silicon Via)及半导体立体封装(3D IC)的制作过程，都因为具有较为复杂的制作过程而使成本一直居高不下。然而，这些半导体制作过程除了制作过程冗长之外，于制作过程中所耗用的材料也占据了部分的成本，其中剥离溶剂(de-bonding agent)就是其中之一。

当一晶圆完成TSV制作过程后，要以剥离溶剂让胶层先失去黏性(如照射紫外线或使用有机溶剂)以便将晶圆从承载片中取下。而目前剥离溶剂是一次用完即丢弃，亦即使用后的剥离溶剂先以废液瓶回收，待厂商取回后以废弃物处理；或者是将使用后的剥离溶剂直接排放至废水处理设施中。然而，这样的处理方式既不符合环保概念也会增加耗材成本。

故，有必要提供一种半导体剥离溶剂的回收系统，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种半导体剥离溶剂的回收系统，其包含一剥离器、一蒸馏器、一热交换器及一混合器，所述半导体剥离溶剂的回收系统主要将所述剥离器使用过的剥离溶剂通过所述蒸馏器、热交换器及混合器纯化后回收使用，除了可节省剥离溶剂的材料成本外，也符合环保概念。

为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种半导体剥离溶剂的回收系统，其包含：一剥离器、一蒸馏器及一热交换器。所述剥离器产出一使用过的一种剥离溶剂；所述热交换器输入所述使用过的剥离溶剂并将其预热；及所述蒸馏器输入所述预热过的剥离溶剂，并蒸馏纯化出一剥离溶剂蒸气，其中所述剥离溶剂蒸气系输入热交换器而与所述使用过的剥离溶剂进行热交换，以预热所述使用过的剥离溶剂，并使所述剥离溶剂蒸气冷凝为一纯化回收液。

为达成本发明的前述目的，本发明另一实施例提供一种半导体剥离溶剂的回收系统，其包含：一蒸馏器及一热交换器。所述蒸馏器输入一回收液，蒸馏纯化出一回收液蒸气；所述热交换器将进入所述蒸馏器的(低温)回收液与刚离开所述蒸馏器的(高温)回收液蒸气进行热交换，以预热所述回收液，并使所述回收液蒸气冷凝为一纯化回收液。

附图说明

图1是本发明一实施例的半导体剥离溶剂的回收系统的流程示意图。

图2是本发明一实施例的剥离器的侧剖视图。

图3是本发明一实施例的热交换器的侧剖视图。

图4是本发明一实施例的蒸馏器的侧剖视图。

图5是本发明另一实施例的半导体剥离溶剂的回收系统的流程示意图。

具体实施方式

为让本发明上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本发明较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下：

请参照图1所示，图1是本发明一实施例的半导体剥离溶剂的回收系统的流程示意图。一种半导体剥离溶剂的回收系统100包含一剥离器10、一蒸馏器20、一热交换器30及一混合器40，所述半导体剥离溶剂的回收系统100主要将使用过的一种剥离溶剂通过纯化后回收使用，以达到环保及节省耗材成本的双重目的，详述如下：

本实施例所述的剥离溶剂，可以为烯类的有机溶剂，例如是十二碳烯类的有机溶剂，其沸点约在230℃左右。如图1所示，所述剥离器10是用于分离出使用过的剥离溶剂的回收液，以产出一使用过的一种剥离溶剂；所述蒸馏器20是用于输入所述预热过的剥离溶剂，并蒸馏纯化出一剥离溶剂蒸气；所述热交换器30是设于所述剥离器10与所述蒸馏器20之间，所述热交换器30输入所述使用过的剥离溶剂并将其预热，其中所述剥离溶剂蒸气系输入热交换器30而与所述使用过的剥离溶剂进行热交换，以预热所述使用过的剥离溶剂，并使所述剥离溶剂蒸气冷凝为一纯化回收液(此步骤约造成0.2％的溶剂体积损失)；而所述混合器40是用于混合已纯化的回收液及额外加入新鲜的剥离溶剂(补充纯化过程中0.2％的溶剂体积损失)，以供应至所述剥离器10中再次重复使用。

因此，本发明的半导体剥离溶剂的回收系统100可回收剥离溶剂并重复使用，因此除了可节省剥离溶剂的材料成本外，也符合环保概念。

在本实施例中，所述剥离器10与所述热交换器30之间还设有一回收液储存容器10a；所述回收液储存容器10a与所述热交换器之间还设有一加压帮浦10b。