[发明专利]半导体剥离溶剂的回收系统

权利要求书

1.一种半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述半导体剥离溶剂的回收系统包含：

一剥离器，产出一使用过的一种剥离溶剂；

一热交换器，输入所述使用过的剥离溶剂并将其预热；及

一蒸馏器，输入所述预热过的剥离溶剂，并蒸馏纯化出一剥离溶剂蒸气；其中所述剥离溶剂蒸气系输入热交换器而与所述使用过的剥离溶剂进行热交换，以预热所述使用过的剥离溶剂，并使所述剥离溶剂蒸气冷凝为一纯化回收液。

2.如权利要求1所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述半导体剥离溶剂的回收系统还设有一混合器，混合所述纯化回收液及一新鲜剥离溶剂，并供应至所述剥离器重复使用。

3.如权利要求1所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述蒸馏器是一密闭的容器，其内部包含：

一加热器，设于所述容器的一内底部；

一喷雾器，设于所述容器的一内顶部，以喷雾方式输入所述回收液；

多个托盘，设于所述加热器与所述喷雾器之间；

多个填充物，设于所述多个托盘上，吸收所述回收液以增加所述回收液蒸发的表面积；及

一蒸气出口，设于所述容器内的最高点，以向外输出所述回收液蒸气。

4.如权利要求1所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述热交换器设有一壳部及一管部，所述壳部包含一回收液蒸气入口及一纯化回收液出口，所述管部包含一回收液入口及一回收液出口。

5.如权利要求1所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述剥离器与所述热交换器之间还设有一回收液储存容器；所述回收液储存容器与所述热交换器之间还设有一加压帮浦。

6.如权利要求1所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述热交换器与所述混合器之间还设有一纯化回收液储存容器；所述纯化回收液储存容器与所述混合器之间还设有一加压帮浦。

7.如权利要求1所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述半导体剥离溶剂的回收系统还设有一新鲜液储存容器，所述新鲜液储存容器连通至所述混合器；所述新鲜液储存容器与所述混合器之间还设有一加压帮浦。

8.一种半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述半导体剥离溶剂的回收系统包含：

一蒸馏器，输入一回收液，蒸馏纯化出一回收液蒸气；及

一热交换器，将进入所述蒸馏器的回收液与刚离开所述蒸馏器的回收液蒸气进行热交换，以预热所述回收液，并使所述回收液蒸气冷凝为一纯化回收液。

9.如权利要求8所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述蒸馏器是一密闭的容器，其内部包含：

一加热器，设于所述容器的一内底部；

一喷雾器，设于所述容器的一内顶部，以喷雾方式输入所述回收液；

多个托盘，设于所述加热器与所述喷雾器之间；

多个填充物，设于所述多个托盘上，吸收所述回收液以增加所述回收液蒸发的表面积；及

一蒸器出口，设于所述容器内的最高点，以向外输出被纯化的所述回收液蒸气。

10.如权利要求8所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述热交换器设有一壳部及一管部，所述壳部包含一回收液蒸气入口及一纯化回收液出口，所述管部包含一回收液入口及一回收液出口。