[发明专利]水平湿法蚀刻线咬蚀量测试片的固定结构有效
| 申请号： | 201210395633.8 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102878971A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 方庆玲;吴小龙;吴梅珠;徐杰栋;刘秋华;胡广群;梁少文 | 申请（专利权）人： | 无锡江南计算技术研究所 |
| 主分类号： | G01B21/18 | 分类号： | G01B21/18 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 龚燮英 |
| 地址： | 214083 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种水平湿法蚀刻线咬蚀量测试片的固定结构，其包括：介质层板、布置在介质层板内的一个或多个窗口、布置在窗口外周的穿线孔、以及固定线；其中，所述固定线通过所述穿线孔从而形成相对于所述窗口倾斜的与所述窗口部分重合的多边形双线结构；而且，所述固定线所形成的多边形双线结构的一层线布置在介质层板的一侧，而所述固定线所形成的多边形双线结构的另一层线布置在介质层板的另一侧。由此，提供一种能够避免咬蚀量测试片在水平湿法线传输过程中从大间距传输滚轮掉落的问题的一种测试片固定结构。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 湿法 蚀刻 线咬蚀量 测试 固定 结构 | ||
【主权项】：
一种水平湿法蚀刻线咬蚀量测试片的固定结构，其特征在于包括：介质层板、布置在介质层板内的一个或多个窗口、布置在窗口外周的穿线孔、以及固定线；其中，所述固定线通过所述穿线孔从而形成相对于所述窗口倾斜的与所述窗口部分重合的多边形双线结构；而且，所述固定线所形成的多边形双线结构的一层线布置在介质层板的一侧，而所述固定线所形成的多边形双线结构的另一层线布置在介质层板的另一侧。
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