[发明专利]水平湿法蚀刻线咬蚀量测试片的固定结构

权利要求书

1.一种水平湿法蚀刻线咬蚀量测试片的固定结构，其特征在于包括：介质层板、布置在介质层板内的一个或多个窗口、布置在窗口外周的穿线孔、以及固定线；其中，所述固定线通过所述穿线孔从而形成相对于所述窗口倾斜的与所述窗口部分重合的多边形双线结构；而且，所述固定线所形成的多边形双线结构的一层线布置在介质层板的一侧，而所述固定线所形成的多边形双线结构的另一层线布置在介质层板的另一侧。

2.根据权利要求1所述的固定结构，其特征在于，所述多边形双线结构的中心和所述窗口中心重合。

3.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述多边形双线结构相对于所述窗口倾斜以与所述窗口成30~60°角。

4.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述窗口的数量可以为一个，并且所述窗口优选布置在所述介质层板的中心位置。

5.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述窗口的数量可以为两个，并且所述窗口在所述介质层板上优选左右对称布置。

6.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述窗口的数量可以为多个，并且所述窗口在所述介质层板上按需求布置。

7.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述窗口的形状为正方形或者矩形。

8.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述窗口的形状为正方形，并且所述窗口的边长比测试片边长大5-30mm；而且，所述窗口的边长为60-150mm。

9.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述穿线孔的孔径为2-5mm。

10.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述穿线孔的孔边距窗口边的距离为5-20mm。

11.根据权利要求1或2所述的固定结构，其特征在于，所述固定线是特氟隆线、腈纶线或者涤纶线。