[发明专利]封装测试方法有效
申请号: | 201210389784.2 | 申请日: | 2012-10-15 |
公开(公告)号: | CN103730376B | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 傅廷明 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/66 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 张龙哺,冯志云 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种封装测试方法,其包括下列步骤。提供半导体封装单元,其包括封装胶体、导线架及多个切割道。切割道于半导体封装单元上定义出多个半导体封装元件。各半导体封装元件具有多个外部连接端子。沿着切割道切断导线架,以电性绝缘各半导体封装元件。将半导体封装单元载置于承载晶圆上。使探针卡靠近载置于承载晶圆上的半导体封装单元,使探针卡所具备的多个探针端子分别与外部连接端子接触,以对各半导体封装元件进行测试。标记测试结果为异常的半导体封装元件。单体化半导体封装元件并移除被标记为异常的半导体封装元件。 | ||
搜索关键词: | 封装 测试 方法 | ||
【主权项】:
一种封装测试方法,适于对一半导体封装单元进行测试,包括:提供该半导体封装单元,该半导体封装单元包括一封装胶体、一导线架及多个切割道,所述多个切割道于半导体封装单元上定义出多个半导体封装元件,各半导体封装元件具有多个外部连接端子,位于该导线架上;沿着所述多个切割道切断该导线架,以使所述多个半导体封装元件彼此电性绝缘,且该封装胶体横跨所述多个切割道;将该半导体封装单元载置于一承载晶圆上,其中该半导体封装单元具有至少一定位孔,且该承载晶圆具有与该至少一定位孔对应的至少一定位柱,该至少一定位柱进入该至少一定位孔且彼此嵌合;以该承载晶圆将该半导体封装单元传送至一测试机台,该测试机台具有一探针卡;使探针卡靠近载置于该承载晶圆上的该半导体封装单元,使该探针卡所具备的多个探针端子分别与该外部连接端子相接触,以对各该半导体封装元件进行测试,其中该探针卡还具有多个抵压柱,当所述多个探针端子分别与该外部连接端子接触时,所述多个抵压柱分别抵压各该半导体封装元件的中心;标记测试结果为异常的所述多个半导体封装元件;单体化所述多个半导体封装元件;以及移除被标记为异常的所述多个半导体封装元件;其中各该半导体封装元件为一小尺寸无引脚封装元件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造