[发明专利]封装测试方法有效

专利信息
申请号: 201210389784.2 申请日: 2012-10-15
公开(公告)号: CN103730376B 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: 傅廷明 申请(专利权)人: 华邦电子股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/66
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司72003 代理人: 张龙哺,冯志云
地址: 中国台湾台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种封装测试方法,其包括下列步骤。提供半导体封装单元,其包括封装胶体、导线架及多个切割道。切割道于半导体封装单元上定义出多个半导体封装元件。各半导体封装元件具有多个外部连接端子。沿着切割道切断导线架,以电性绝缘各半导体封装元件。将半导体封装单元载置于承载晶圆上。使探针卡靠近载置于承载晶圆上的半导体封装单元,使探针卡所具备的多个探针端子分别与外部连接端子接触,以对各半导体封装元件进行测试。标记测试结果为异常的半导体封装元件。单体化半导体封装元件并移除被标记为异常的半导体封装元件。
搜索关键词: 封装 测试 方法
【主权项】:
一种封装测试方法,适于对一半导体封装单元进行测试,包括:提供该半导体封装单元,该半导体封装单元包括一封装胶体、一导线架及多个切割道,所述多个切割道于半导体封装单元上定义出多个半导体封装元件,各半导体封装元件具有多个外部连接端子,位于该导线架上;沿着所述多个切割道切断该导线架,以使所述多个半导体封装元件彼此电性绝缘,且该封装胶体横跨所述多个切割道;将该半导体封装单元载置于一承载晶圆上,其中该半导体封装单元具有至少一定位孔,且该承载晶圆具有与该至少一定位孔对应的至少一定位柱,该至少一定位柱进入该至少一定位孔且彼此嵌合;以该承载晶圆将该半导体封装单元传送至一测试机台,该测试机台具有一探针卡;使探针卡靠近载置于该承载晶圆上的该半导体封装单元,使该探针卡所具备的多个探针端子分别与该外部连接端子相接触,以对各该半导体封装元件进行测试,其中该探针卡还具有多个抵压柱,当所述多个探针端子分别与该外部连接端子接触时,所述多个抵压柱分别抵压各该半导体封装元件的中心;标记测试结果为异常的所述多个半导体封装元件;单体化所述多个半导体封装元件;以及移除被标记为异常的所述多个半导体封装元件;其中各该半导体封装元件为一小尺寸无引脚封装元件。
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