[发明专利]一种适用于方形基板的化学液回收装置

摘要

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种适用于方形基板的化学液回收装置，包括固定及旋转方形基板的承片台、CUP、接液槽、气缸、电机及台面板，接液槽安装在台面板上，在接液槽内设有由电机驱动的承片台，方形基板位于该承片台上，方形基板任意相对的两个角通过承片台上的挡柱定位；接液槽与承片台之间设有由气缸驱动升降的CUP，接液槽内通过所述CUP分成回收化学液的外槽及回收清洗液的内槽，每个槽各设有一个排出口。本发明的承片台上设置了定位方形基板的挡柱，实现了化学液沿方形基板四条边流下，并且被分类回收；本发明通过升降CUP来控制化学液和清洗液的分离，通过不同通道回收，减少了化学液的污染和被稀释问题。

主权项

一种适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：包括固定及旋转方形基板（1）的承片台（2）、CUP（3）、接液槽（5）、气缸（7）、电机（8）及台面板（14），其中接液槽（5）安装在台面板（14）上，在接液槽（5）内设有由电机（8）驱动的承片台（2），所述方形基板（1）位于该承片台（2）上，方形基板（1）任意相对的两个角通过所述承片台（2）上的挡柱（21）定位；所述接液槽（5）与承片台（2）之间设有由气缸（7）驱动升降的CUP（3），接液槽（5）内通过所述CUP（3）分成回收化学液（12）的外槽（16）及回收清洗液（13）的内槽（17），每个槽各设有一个排出口。