[发明专利]一种适用于方形基板的化学液回收装置

权利要求书

1.一种适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：包括固定及旋转方形基板（1）的承片台（2）、CUP（3）、接液槽（5）、气缸（7）、电机（8）及台面板（14），其中接液槽（5）安装在台面板（14）上，在接液槽（5）内设有由电机（8）驱动的承片台（2），所述方形基板（1）位于该承片台（2）上，方形基板（1）任意相对的两个角通过所述承片台（2）上的挡柱（21）定位；所述接液槽（5）与承片台（2）之间设有由气缸（7）驱动升降的CUP（3），接液槽（5）内通过所述CUP（3）分成回收化学液（12）的外槽（16）及回收清洗液（13）的内槽（17），每个槽各设有一个排出口。

2.按权利要求1所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述承片台（2）的上表面设有至少四个挡柱（21），四个挡柱（21）之间的连线围成方形，四个挡柱（21）位于方形的四个顶点；所述方形基板（1）任意相对的两个角由所述方形相对的两条边插入，分别由两个挡柱（21）固定。

3.按权利要求1或2所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述承片台（2）为锥台形，中部为镂空结构，镂空部分的尺寸小于所述方形基板（1）的尺寸；在承片台（2）镂空部分的下方设有多个将去离子水和氮气喷洒到方形基板（1）上晶圆背面的喷嘴（22）。

4.按权利要求1所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述CUP（3）移动的上限位位于晶片（1）及承片台（2）的上方，下限位位于方形基板（1）及承片台（2）的下方。

5.按权利要求1所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述电机（8）为中空轴电机，安装在台面板（14）的下方，电机（8）中空的输出轴穿过台面板（14）与所述承片台（2）相连，在电机（8）中空的输出轴端设有压缩空气入口（9），所述承片台（2）套在输出轴外的部位开有与所述中空的输出轴连通的压缩空气出口（11）。

6.按权利要求1或4所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述CUP（3）为锥台形、内部中空，在CUP（3）的上表面开有供所述承片台（2）穿过的第一通孔。

7.按权利要求6所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述CUP（3）上开有凹槽，接液槽（5）内设有第二凸起（19），该第二凸起（19）容置在所述凹槽内；所述气缸（7）安装在台面板（14）的下表面，活塞杆（4）依次穿过台面板（14）、第二凸起（19）与CUP（3）相连。

8.按权利要求1所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述接液槽（5）内由里向外依次设有内部中空的第一凸起（18）、第二凸起（19），承片台（2）及电机（8）的输出轴由第一凸起（18）穿过；所述第一凸起（18）及第二凸起（19）将接液槽（5）内部分隔成外槽（16）及内槽（17），第一、二凸起（18、19）之间为内槽（17），第二凸起（19）与接液槽（5）外壁之间为外槽（16），内槽（17）的底部开有回收清洗液（13）的排液口（10），外槽（16）的底部开有回收化学液（12）的排酸口（6）。

9.按权利要求8所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述内槽（17）内，在第一凸起（18）顶端与承片台（2）之间设有挡板（20），该挡板（20）的内壁上安装有多个喷嘴（22）。

10.按权利要求1或8所述适用于方形基板的化学液回收装置，其特征在于：所述接液槽（5）的顶部安装有防护罩（15），该防护罩（15）为锥台形，其上表面开有第二通孔。