[发明专利]洁净室有效
| 申请号： | 201210363872.5 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102865640A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 蒋运芍;吴俊豪;林昆贤;汪永强;舒志优;郭振华 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F24F7/007 | 分类号： | F24F7/007;F24F13/28;E04H5/02 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室包括排风口、第一风机滤器单元以及第二风机滤器单元，其中，该排风口设于该洁净室的底部；该第一风机滤器单元设于该洁净室的顶部，用于向该洁净室提供洁净空气；该第二风机滤器单元设于该洁净室的底部，用于与该第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小该洁净室内的涡流现象。本发明公开的洁净室可以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净室 | ||
【主权项】：
一种洁净室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述洁净室包括：排风口，设于所述洁净室的底部；第一风机滤器单元，设于所述洁净室的顶部，用于向所述洁净室提供洁净空气；第二风机滤器单元，设于所述洁净室的底部，用于与所述第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小所述洁净室内的涡流现象。
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