[发明专利]洁净室

权利要求书

1.一种洁净室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述洁净室包括：

排风口，设于所述洁净室的底部；

第一风机滤器单元，设于所述洁净室的顶部，用于向所述洁净室提供洁净空气；

第二风机滤器单元，设于所述洁净室的底部，用于与所述第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小所述洁净室内的涡流现象。

2.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括顶板、侧板以及底板，所述第一风机滤器单元设于所述顶板上，所述排风口设于所述底板上，所述第二风机滤器单元设于所述排风口上。

3.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，所述第一风机滤器单元与所述第二风机滤器单元的安装位置上下相对应。

4.根据权利要求3所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括储位架，所述储位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。

5.根据权利要求4所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括导轨，所述导轨设于所述底板上。

6.根据权利要求5所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括自动化搬运设备，所述自动化搬运设备设于所述导轨上。

7.根据权利要求6所述的洁净室，其特征在于，所述自动化搬运设备包括搬运叉，所述搬运叉用于叉取所述储位架上的所述卡匣。

8.根据权利要求7所述的洁净室，其特征在于，所述导轨为双轨，所述双轨将所述底板分隔为导轨内区和导轨外区。

9.根据权利要求8所述的洁净室，其特征在于，所述第二风机滤器单元设于所述导轨内区内和/或所述导轨外区内。

10.根据权利要求9所述的洁净室，其特征在于，所述第一风机滤器单元和所述第二风机滤器单元均包括：

预过滤器，用于对吸入的空气进行预过滤；

进风管，所述进风管的一端与所述预过滤器相连接；

壳体，所述进风管的另一端与所述壳体的顶面相连接；

电机，对应于所述进风管的位置设于所述壳体内；

叶轮，与所述电机相装配；

气流均衡装置，设于所述叶轮下方，用于均衡气流；

过滤器，设于所述气流均衡装置下方，用于再次过滤空气；

金属防护网，作为所述壳体的底面；

插脚，设于所述壳体的底面，用于与所述顶板、所述底板相固定；

控制元件，用于启动所述电机。