[发明专利]洁净室

说明书

技术领域

本发明涉及液晶面板生产制造技术领域，特别是涉及一种洁净室。

背景技术

洁净室亦称为无尘室或清净室，洁净室最主要之作用在于控制产品（如玻璃基板）所接触之空气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。

在现有技术中，洁净室的清洁是通过洁净室的顶板上的风机滤器单元向洁净室内吹出洁净空气，将洁净室内的污染空气（含微尘粒子等）从排风口排出。

然而，在实际过程中，洁净室的顶板上的风机滤器单元向洁净室内吹出洁净空气时，易受洁净室内的自动化搬运设备、洁净室的底板以及侧板回风导致涡流现象，造成洁净室内的微尘粒子不易排出，易污染卡匣内的玻璃基板。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种洁净室，以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种洁净室，用于存放玻璃基板，其中，所述洁净室包括：

排风口，设于所述洁净室的底部；

第一风机滤器单元，设于所述洁净室的顶部，用于向所述洁净室提供洁净空气；

第二风机滤器单元，设于所述洁净室的底部，用于与所述第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小所述洁净室内的涡流现象。

根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括顶板、侧板以及底板，所述第一风机滤器单元设于所述顶板上，所述排风口设于所述底板上，所述第二风机滤器单元设于所述排风口上。

根据本发明一优选实施例，所述第一风机滤器单元与所述第二风机滤器单元的安装位置上下相对应。

根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括储位架，所述储位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。

根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括导轨，所述导轨设于所述底板上。

根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括自动化搬运设备，所述自动化搬运设备设于所述导轨上。

根据本发明一优选实施例，所述自动化搬运设备包括搬运叉，所述搬运叉用于叉取所述储位架上的所述卡匣。

根据本发明一优选实施例，所述导轨为双轨，所述双轨将所述底板分隔为导轨内区和导轨外区。

根据本发明一优选实施例，所述第二风机滤器单元设于所述导轨内区内和/或所述导轨外区内。

根据本发明一优选实施例，所述第一风机滤器单元和所述第二风机滤器单元均包括：

预过滤器，用于对吸入的空气进行预过滤；

进风管，所述进风管的一端与所述预过滤器相连接；

壳体，所述进风管的另一端与所述壳体的顶面相连接；

电机，对应于所述进风管的位置设于所述壳体内；

叶轮，与所述电机相装配；

气流均衡装置，设于所述叶轮下方，用于均衡气流；

过滤器，设于所述气流均衡装置下方，用于再次过滤空气；

金属防护网，作为所述壳体的底面；

插脚，设于所述壳体的底面，用于与所述顶板、所述底板相固定；

控制元件，用于启动所述电机。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的洁净室可以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题，本发明提供的洁净室在其底板上增设有风机滤器单元，该风机滤器单元与洁净室的顶板上的风机滤器单元配合形成垂直气流，可以减小该洁净室内的涡流现象，由此可避免涡流卷带微尘粒子扬起污染玻璃基板，提高产品良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1为根据本发明一优选实施例的洁净室的前视截面示意图；

图2为根据本发明一优选实施例的洁净室的俯视截面示意图；

图3为根据本发明一优选实施例的洁净室的第一风机滤器单元的立体结构示意图；

图4为图3所示的第一风机滤器单元的构造原理图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。