[发明专利]一种研磨盘平面度修正装置

摘要

本发明公开了一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨、矩形导轨和平面度修正机构，所述的丝杠丝母螺旋副机构安装在方形导轨内，方形导轨设置在矩形导轨内，矩形导轨通过底板与被修复研磨盘主机相连。本发明技术方案，通过采用伺服拖动控制车刀进刀，可实现盘面螺旋线螺距的精密加工；螺旋测微头高分辨率设定进刀深度，可实现盘面螺旋槽深度的精却控制，同时通过千分表与调整螺栓的调节，可实现盘面平面度凸心（或凹心）的准确控制，该装置可在线实现研磨抛光设备自身盘面平面度的修研，同时可满足超硬材料对盘面的特殊修研要求。

主权项

一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机（14）、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨（19）、矩形导轨（24）和平面度修正机构，所述丝杠丝母螺旋副机构安装在所述方形导轨（19）内，所述方形导轨（19）设置在所述矩形导轨（24）内，所述矩形导轨（24）通过底板（40）与被修复研磨盘主机相连，所述平面度修正机构的车刀（33）通过刀架（30）安装在刀架导轨（29）上，所述刀架导轨（29）通过固定板（28）固定安装在所述方形导轨（19）端部，螺旋测微头（44）通过定位环（32）安装在支板（31）上，所述支板（31）固定安装在所述固定板（28）上，所述支板（31）与所述刀架（30）之间设置有拉簧（42）。