[发明专利]一种研磨盘平面度修正装置

权利要求书

1.一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机（14）、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨（19）、矩形导轨（24）和平面度修正机构，所述丝杠丝母螺旋副机构安装在所述方形导轨（19）内，所述方形导轨（19）设置在所述矩形导轨（24）内，所述矩形导轨（24）通过底板（40）与被修复研磨盘主机相连，所述平面度修正机构的车刀（33）通过刀架（30）安装在刀架导轨（29）上，所述刀架导轨（29）通过固定板（28）固定安装在所述方形导轨（19）端部，螺旋测微头（44）通过定位环（32）安装在支板（31）上，所述支板（31）固定安装在所述固定板（28）上，所述支板（31）与所述刀架（30）之间设置有拉簧（42）。

2.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述平面度修正机构的车刀（33）通过第一紧定螺钉（34）与所述刀架（30）固定相连，所述固定板（28）一侧设置有第二紧定螺钉（35），所述刀架（30）通过所述刀架导轨（29）带动沿所述车刀（33）轴线滑动并通过所述第二紧定螺钉（35）定位。

3.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述丝杠丝母螺旋副机构包括丝母（17）和丝杠（16），所述丝母（17）固定安装在所述方形导轨（19）的端部，所述丝杠（16）一端通过所述丝母（17）伸入所述方形导轨（19）内，所述丝杠（16）另一端通过第一轴承（4）和第二轴承（10）旋转支撑，所述第一轴承（4）通过轴承盖（1）安装在轴承座（43）上，所述轴承座（43）安装在后板（3）上，所述后板（3）通过螺母（2）和短拉杆（5）与端板（15）固定相连，所述端板（15）通过长拉杆（18）与所述矩形导轨（24）的端部相连；所述第二轴承（10）通过轴承压盖（9）安装在所述端板（15）上。

4.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述伺服电机（14）固定在电机安装板（13）上，所述电机安装板（13）与所述端板（15）固定相连，主动轮（12）安装在所述伺服电机（14）输出轴上，所述主动轮（12）通过同步带（11）与设置在所述丝杠丝母螺旋副机构的丝杠（16）上的从动轮（7）相连，所述从动轮（7）通过锁母（6）安装在所述第二轴承（10）外侧的所述丝杠（16）上，所述从动轮（7）与所述轴承压盖（9）之间设置有隔环（8）。

5.根据权利要求4所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述主动轮（12）与所述伺服电机（14）通过平键固定相连，所述从动轮（7）通过所述平键与所述丝杠（16）固定相连。

6.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述矩形导轨（24）两端与所述方形导轨（19）结合处分别设置有第一压板（20）、盖板（21）和刮板（22）。

7.根据权利要求1、6所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述矩形导轨（24）一端与所述底板（40）之间通过销轴（41）与铰座（27）铰接，所述矩形导轨（24）另一端与所述底板（40）之间设置有第二压板（25）和用于角度调整的调整螺钉（26），所述调整螺钉（26）的一侧设置有千分表（45），所述千分表（45）通过表杆（46）固联与所述底板（40）上，固定座（36）与紧定座（38）分别固定安装在所述矩形导轨（24）两侧的所述底板（40）上，所述固定座（36）上设置有固定螺钉（37），所述紧定座（38）上设置有定位螺钉（39），所述矩形导轨（24）外部设置有导轨盖板（23）。