[发明专利]一种FeSe超导薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种FeSe超导薄膜的制备方法，包括以下步骤：一、将铁板材的表面加工平整并清洗干净后，放置在高温管式炉的中部；二、将硒粉置于高温管式炉中靠近进气口一端；三、向高温管式炉中通入氩气将炉内空气排除，然后调节氩气流量并进行加热，使硒粉蒸发为气相Se，随氩气的流动实现气相Se的输运并沉积于铁板材表面；四、将硒粉取出，将铁板材进行退火处理，最终得到FeSe超导薄膜。本发明制备工艺简单易控，工艺流程短，可重复性强，适于工业化大规模生产；采用本发明制备的FeSe超导薄膜表面平整，晶间连接性好，四方相含量高，具有优良的超导性能。

主权项

一种FeSe超导薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将铁板材的表面加工平整，依次采用盐酸溶液、无水乙醇和丙酮清洗干净后，放置在高温管式炉的中部；步骤二、将盛有硒粉的坩埚放置在高温管式炉中靠近进气口的一端，并距离铁板材5cm～30cm；步骤三、向高温管式炉中通入氩气，先在氩气流量为1L/h～40L/h的条件下将炉内空气排除，然后在氩气流量为0.01L/h～1L/h的条件下将炉内温度升至400℃～800℃后保温10min～180min，使硒粉加热蒸发为气相Se，气相Se随氩气的流动进行定向输运并沉积于铁板材表面；步骤四、将高温管式炉中盛有硒粉的坩埚取出，同时停止通入氩气，将步骤三中沉积有气相Se的铁板材在温度为600℃～1100℃的条件下进行退火处理0.5h～1.0h，自然冷却后在铁板材的表面得到FeSe超导薄膜。