[发明专利]半导体设备在审
| 申请号： | 201210313091.5 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102856235A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 巴文林 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明解决的问题是提供了一种半导体设备，包括：冷却水提供单元，用于提供冷却水；泵单元，用于将所述冷却水提供单元的冷却水抽取，并且提供至被冷却单元，所述泵单元与被冷却单元之间的管路上设置有水压监控单元，用于对所述泵单元与被冷却单元之间的管路的水压进行检测，当所述水压超过额定水压的时间超过预定时间时，发出报警信号。本发明减少了因为冷却水的水压不稳定引起的维护处理，节约了人力，也提高了半导体设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种半导体设备，其特征在于，包括：冷却水提供单元，用于提供冷却水；泵单元，用于将所述冷却水提供单元的冷却水抽取，并且提供至被冷却单元，所述泵单元与被冷却单元之间的管路上设置有水压监控单元，用于对所述泵单元与被冷却单元之间的管路的水压进行检测，当所述水压超过额定水压的时间超过预定时间时，发出报警信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
