[发明专利]半导体设备

权利要求书

1.一种半导体设备，其特征在于，包括：

冷却水提供单元，用于提供冷却水；

泵单元，用于将所述冷却水提供单元的冷却水抽取，并且提供至被冷却单元，所述泵单元与被冷却单元之间的管路上设置有水压监控单元，用于对所述泵单元与被冷却单元之间的管路的水压进行检测，当所述水压超过额定水压的时间超过预定时间时，发出报警信号。

2.如权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述预定时间范围为2~10秒

3.如权利要求2所述的半导体设备，其特征在于，所述预定时间范围为2~4秒。

4.如权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述水压监控单元包括：水压感应器，用于测试所述泵单元与被冷却单元之间的管路的水压；

延时控制单元，用于基于所述水压感应器测试的水压，当所述水压超过所述额定水压时，且持续时间超过预定时间时，产生报警信号；

报警单元，用于显示所述报警信号。

5.如权利要求4所述的半导体设备，其特征在于，所述延时控制单元为2秒时间继电器，其预定时间为2秒。

6.如权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述半导体设备为AxcelisGPS设备。

7.如权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述泵单元抽取冷却水的速度为可调节，以调节所述管路的水压。