[发明专利]薄膜沉积系统无效
| 申请号： | 201210310716.2 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102899719A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 于伯渊;刘恒 | 申请（专利权）人： | 绿种子材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B25/12;C23C16/458;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台湾台北市信*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜沉积系统，尤指一种利用摩擦力带动承载器自转的薄膜沉积系统，包含有一载盘、一中心盘及至少一承载器。其中，中心盘的周缘具有一中心斜面，各承载器的周缘分别具有一承载斜面，利用中心斜面与承载斜面接触，可于载盘或中心盘旋转时，带动各承载器公转及/或自转。本发明提供的薄膜沉积系统，可简化系统元件的构造，增加承载器配置的致密度，提高单位时间的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种薄膜沉积系统，其特征在于，包含：一载盘；一中心盘，设置于该载盘的中心位置，该中心盘的周缘具有一中心斜面；及至少一承载器，设置于该载盘上并位于中心盘外围，分别用以承载至少一基板，该至少一承载器的周缘具有一承载斜面与该中心斜面接触。
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