[发明专利]基于氧化锌薄膜的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于氧化锌薄膜型的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法。本发明在超高真空多功能射频磁控溅射设备上，按照下述步骤进行：溅射前将系统抽为真空，系统的气压达到3x10-3Pa；打开氧气和氩气的气路阀门，向系统中通入这两种气体，给陶瓷管载片加热，温度达到250℃；Zn靶和载片间电压为300-400V,溅射电流为0.1-0.3A，预溅射8-12分钟，溅射20分钟，让系统的温度冷却至室温，然后向真空室充入氮气，达到105Pa时打开真空室取出样品即成。本发明采用溅射法制备气敏元件，所制备出的气敏元件仅对丙酮蒸气有敏感特性,可在众多的混合有机蒸气中,检测出丙酮蒸气的存在与否及其浓度。

主权项

一种基于氧化锌薄膜的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法，其特征是，在超高真空多功能射频磁控溅射设备上，按照下述步骤进行：（1）将纯度均为99.99%的Zn靶材放在直流溅射靶上,将清洗好的Al2O3陶瓷管放在样品托上，关闭真空室；（2）溅射前将系统抽为真空，过程如下：启动机械泵，机械泵对磁控溅射室进行抽气，当真空计指针达到1‑30Pa时，启动分子泵，利用分子泵对磁控溅射室进行抽真空，直至系统的气压达到5×10‑3‑6×10‑4pa；（3）抽完真空后，打开氧气和氩气的气路阀门，向系统中通入这两种气体，其02：Ar=1：2，使系统中压强达到0.2‑0.8pa；（4）通入气体后，给陶瓷管载片加热，温度达到250℃；（5）最后开始溅射：Zn靶和载片间电压为300‑400V，溅射电流为0.1‑0.3A，刚开始要预溅射8‑12分钟，然后再计时溅射，溅射过程持续20分钟；（6）溅射完后让系统的温度冷却至室温，然后向真空室充入氮气，达到105Pa时打开真空室取出样品。