[发明专利]基于氧化锌薄膜的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法无效
| 申请号： | 201210308812.3 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102828156A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 何平;陈翠欣;杨帆;张炳强;潘国峰 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;G01N27/12 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 仝林叶 |
| 地址： | 300130 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 氧化锌 薄膜 丙酮 蒸汽 传感 元件 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于氧化锌薄膜的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法，其特征是，在超高真空多功能射频磁控溅射设备上，按照下述步骤进行：
（1）将纯度均为99.99%的Zn靶材放在直流溅射靶上,将清洗好的Al2O3陶瓷管放在样品托上，关闭真空室；
（2）溅射前将系统抽为真空，过程如下：启动机械泵，机械泵对磁控溅射室进行抽气，当真空计指针达到1-30Pa时，启动分子泵，利用分子泵对磁控溅射室进行抽真空，直至系统的气压达到5×10-3-6×10-4pa；
（3）抽完真空后，打开氧气和氩气的气路阀门，向系统中通入这两种气体，其02：Ar=1：2，使系统中压强达到0.2-0.8pa；
（4）通入气体后，给陶瓷管载片加热，温度达到250℃；
（5）最后开始溅射：Zn靶和载片间电压为300-400V，溅射电流为0.1-0.3A，刚开始要预溅射8-12分钟，然后再计时溅射，溅射过程持续20分钟；
（6）溅射完后让系统的温度冷却至室温，然后向真空室充入氮气，达到105Pa时打开真空室取出样品。
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