[发明专利]用于AMOLED面板制造的分割掩模框架组件制造装置有效

专利信息
申请号: 201210299195.5 申请日: 2012-08-21
公开(公告)号: CN102881652B 公开(公告)日: 2015-02-11
发明(设计)人: 邢南伸;崔英默;尹泳锡;吴世正;石铉浩 申请(专利权)人: 株式会社汉松
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 代理人: 郑青松;王俊
地址: 韩国忠*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及一种分割掩模框架组件的制造装置,其目的在于提供一种高精细的掩模框架组件制造装置,该制造装置包括夹持器装置及背射照明装置,所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用掩模框架组件工序中,为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造水平型掩模框架组件,其特征在于,准备形成Y方向裙摆的分割掩模后,夹持器直接对其把持并按顺序移动到焊接位置,水平移动型夹持器具备为了防止焊接时出现褶皱而拉伸Y方向裙摆的Y方向夹持器,背射照明装置用于提高分割掩模的格子上形成的带与基体玻璃格局间的定位度。
搜索关键词: 用于 amoled 面板 制造 分割 框架 组件 装置
【主权项】:
一种分割掩模框架组件的制造装置,该制造装置包括夹持器装置及背射照明装置,所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用掩模框架组件工序中,为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造水平型掩模框架组件,其特征在于,包括:一对分割掩模移送用直线伺服电机(1);水平移动型夹持器(2),包括:多个分割掩模夹持器(21),分别搭载于所述直线伺服电机上,对分割掩模(71)进行把持后施加张力;Y方向夹持器(22),把持并拉伸形成于所述分割掩模两侧端的Y方向裙摆,从而水平移动型夹持器(2)将分割掩模水平移动到设定的框架位置;基体玻璃及背射照明上下拉动装置(3),向固定设置的框架下部方向依次装载基体玻璃(31)与向基体玻璃方向照射照明的背射照明装置(32);移送装置(4),设置于所述掩模移送用直线伺服电机上部侧,向X、Y、Z方向移送搭载于下部的影像及激光焊接装置;影像及激光焊接装置(5),包括搭载于所述移送装置并具备设置落斜照明装置的摄像机(51)、激光位移传感器及激光焊接装置(52)。
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