[发明专利]用于AMOLED面板制造的分割掩模框架组件制造装置有效

专利信息
申请号: 201210299195.5 申请日: 2012-08-21
公开(公告)号: CN102881652B 公开(公告)日: 2015-02-11
发明(设计)人: 邢南伸;崔英默;尹泳锡;吴世正;石铉浩 申请(专利权)人: 株式会社汉松
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 代理人: 郑青松;王俊
地址: 韩国忠*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 用于 amoled 面板 制造 分割 框架 组件 装置
【权利要求书】:

1.一种分割掩模框架组件的制造装置,该制造装置包括夹持器装置及 背射照明装置,所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用 掩模框架组件工序中,为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造 水平型掩模框架组件,其特征在于,包括:

一对分割掩模移送用直线伺服电机(1);

水平移动型夹持器(2),包括:多个分割掩模夹持器(21),分别搭 载于所述直线伺服电机上,对分割掩模(71)进行把持后施加张力;Y方 向夹持器(22),把持并拉伸形成于所述分割掩模两侧端的Y方向裙摆, 从而水平移动型夹持器(2)将分割掩模水平移动到设定的框架位置;

基体玻璃及背射照明上下拉动装置(3),向固定设置的框架下部方向 依次装载基体玻璃(31)与向基体玻璃方向照射照明的背射照明装置(32);

移送装置(4),设置于所述掩模移送用直线伺服电机上部侧,向X、 Y、Z方向移送搭载于下部的影像及激光焊接装置;

影像及激光焊接装置(5),包括搭载于所述移送装置并具备设置落斜 照明装置的摄像机(51)、激光位移传感器及激光焊接装置(52)。

2.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置,其特征在 于,

所述水平移动型夹持器(2)的结构如下,即,在构成直线伺服电机 (1)的导轨(11)以及设置于导轨上部的导块(12)上部,按照联动并 移动的方式设置多个分割掩模夹持器(21)及多个设置于分割掩模夹持器 (21)两侧端的Y方向夹持器。

3.根据权利要求1或2所述的分割掩模框架组件的制造装置,其特 征在于,

所述Y方向夹持器(22)包括:

掩模导辊(2201),支持分割掩模(71)中形成的Y方向裙摆(711);

升下降滚轴单元(2203),上下拉动所述掩模导辊;

掩模夹具(2206),把持所述Y方向裙摆(711);

掩模夹具气缸(2207),使所述掩模夹具运作;

夹紧块(2208),搭载所述掩模夹具与所述掩模夹具气缸;

拉伸气缸(2209),使所述夹紧块进行前后进来施加拉伸力。

4.根据权利要求3所述的分割掩模框架组件的制造装置,其特征在 于,所述夹紧块上设置有:

倾斜块(2210),对其下部倾斜方向前后进进行导航;

导轨(2211),使结合于所述倾斜块下部的导块(2204)沿着分割掩 模夹持器的前后进方向进行滑动。

5.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置,其特征在 于,

所述基体玻璃(31)具有石英(Quarts)材质的透明基体玻璃夹具(3 3)位于其下部并进行支持的结构。

6.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置,其特征在 于,

所述背射照明装置为LED作为光源的LED照明装置。

7.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置,其特征在 于,

所述LED照明装置为光源由侧方向提供的边缘型LED照明装置。

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