[发明专利]电子显微镜成像系统及方法在审
| 申请号： | 201210299149.5 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN103632912A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | D·沙哈尔;R·德皮乔托 | 申请（专利权）人： | B-纳诺有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;H01J9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 子显微镜成像系统包括：电子显微镜，其包括电子柱和真空室，且具有光轴；氦供应组件，其用于将氦选择性地供应到真空室外面光轴附近的氦可富含容积区；在真空室外的样品支撑台，其设置以支撑着真空室外面将被电子显微镜成像的样品，所述样品支撑台还包括平移组件，其可操作以提供样品进入和离开氦可富含容积区的相对平移。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜成像系统，包括：电子显微镜，其包括电子柱和真空室，且具有光轴；氦供应组件，其用于将氦选择性地供应到所述真空室外面所述光轴附近的氦可富含容积区；以及在所述真空室外的样品支撑台，其设置为支撑着所述真空室外面将被所述电子显微镜成像的样品，所述样品支撑台包括平移组件，所述平移组件可操作以提供所述样品进入和离开所述氦可富含容积区的相对平移。
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