[发明专利]具有功率计算单元的气体激光装置有效
| 申请号： | 201210281503.1 | 申请日： | 2012-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN102957081A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 键和田哲史;久保嘉孝 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;G01R21/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;郭凤麟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具有功率计算单元的气体激光装置（1）具有：第一推算单元（11），其使用DC电源部（21）的输出电流值以及输出电压值和DC电源部（21）的从输入功率向输出功率的变换效率，计算向激光电源装置（20）的输入功率的推定值；第二推算单元（12），其使用驱动装置（23）的输出电流值，计算向驱动装置（23）的输入功率的推定值；和功率计算单元（13），其根据向激光电源装置（20）以及驱动装置（23）的各输入功率的推定值，计算气体激光装置（1）的消耗功率值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 功率 计算 单元 气体 激光 装置 | ||
【主权项】：
一种气体激光装置（1），具有激光电源装置（20）和把输入的交流变换为用于驱动向放电管（24）送入激光气体的鼓风机（25）的交流的驱动装置（23），所述激光电源装置（20）具有把输入的交流变换为直流的DC电源部（21）以及把从所述DC电源部（21）输出的直流变换为作为用于放电激励所述放电管（24）内的激光气体的施加电压使用的高频电压的RF电源部（22），所述气体激光装置（1）的特征在于，具有：第一推算单元（11），其使用检测出的所述DC电源部（21）的输出电流值以及输出电压值和作为所述DC电源部（21）的从输入功率向输出功率的变换效率的DC电源部变换效率，计算向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值；第二推算单元（12），其使用检测出的所述驱动装置（23）的输出电流值，计算向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值；以及功率计算单元（13），其根据向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值和向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值，计算所述气体激光装置（1）的消耗功率值。
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