[发明专利]具有功率计算单元的气体激光装置

权利要求书

1.一种气体激光装置（1），具有激光电源装置（20）和把输入的交流变换为用于驱动向放电管（24）送入激光气体的鼓风机（25）的交流的驱动装置（23），所述激光电源装置（20）具有把输入的交流变换为直流的DC电源部（21）以及把从所述DC电源部（21）输出的直流变换为作为用于放电激励所述放电管（24）内的激光气体的施加电压使用的高频电压的RF电源部（22），所述气体激光装置（1）的特征在于，具有：

第一推算单元（11），其使用检测出的所述DC电源部（21）的输出电流值以及输出电压值和作为所述DC电源部（21）的从输入功率向输出功率的变换效率的DC电源部变换效率，计算向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值；

第二推算单元（12），其使用检测出的所述驱动装置（23）的输出电流值，计算向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值；以及

功率计算单元（13），其根据向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值和向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值，计算所述气体激光装置（1）的消耗功率值。

2.根据权利要求1所述的气体激光装置（1），其特征在于，

所述第一推算单元（11）在放电管（24）内的激光气体放电激励时，把所述DC电源部变换效率设定为按照对数函数式计算出的值，该对数函数式把所述DC电源部（21）的输出电流值和输出电压值相乘得到的输出功率值作为变量，当在放电管（24）内的激光气体不放电激励时，把所述DC电源部变换效率设定为预定的常数，计算向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值。

3.根据权利要求1或2所述的气体激光装置（1），其特征在于，

所述第一推算单元（11）根据所述DC电源部（21）的输出功率值除以所述DC电源部变换效率得到的值和所述激光电源装置（20）的待机功率值，计算向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值。

4.根据权利要求1所述的气体激光装置（1），其特征在于，

所述第二推算单元（12），在所述鼓风机（25）加速运转时或者恒速运转时，使按照二次函数式计算出的向所述鼓风机（25）的输入功率的值除以作为所述驱动装置（23）的从输入功率向输出功率的变换效率的驱动装置变换效率，由此计算向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值，该二次函数式把所述驱动装置（23）的输出电流值作为变量。

5.根据权利要求1或4所述的气体激光装置（1），其特征在于，

所述第二推算单元（12），在所述鼓风机（25）减速运转时，遵照三次函数式计算向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值，该三次函数式把从所述鼓风机（25）开始减速时的经过时间作为变量。

6.根据权利要求1至5的任意一项所述的气体激光装置（1），其特征在于，

所述功率计算单元（13）根据设置在所述气体激光装置（1）内的用于激光气体的排气的排气泵（28）的预先测定的消耗功率的值、向所述激光电源装置（20）的输入功率的推定值和向所述驱动装置（23）的输入功率的推定值，计算所述气体激光装置（1）的消耗功率值。