[发明专利]一种侧壁金属化封装产品的制作方法有效
| 申请号: | 201210280573.5 | 申请日: | 2012-08-08 |
| 公开(公告)号: | CN103579010A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
| 发明(设计)人: | 李冠华;江京;彭勤卫 | 申请(专利权)人: | 深南电路有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/58 |
| 代理公司: | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人: | 黄莉 |
| 地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明实施例公开了一种侧壁金属化的方法,在封装之后进行侧壁金属化处理,基板制作时无需开槽以进行侧壁金属化,简化了基板制作,在进行封装工艺时,由于基板尚未为侧壁金属化而开槽,使得采用真空吸附技术处理时无需特殊治具,定位十分简单,简化了封装工艺,从而降低了侧壁金属化封装产品的工艺复杂度及生产成本,提高了工作效率;在进行上述封装工艺时,由于基板尚未开槽,保证了基板强度,封装时不会因施力不当而引起基板开裂的问题,从而保证了产品质量,并且,由于封装时开槽精度比基板制作时开槽精度更高,strip上所能布局的封装基板单元数量增加。另外,本发明还加工方法可实现多电极侧壁金属化产品的加工。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 侧壁 金属化 封装 产品 制作方法 | ||
【主权项】:
一种侧壁金属化封装产品的制作方法,该方法基于由若干封装基板单元组成的基板,所述封装基板单元的正面及背面均设有电路,其特征在于,所述方法包括:通过半导体封装工艺使得封装体将各电子元件对应封装于所述封装基板单元的正面; 在所述封装基板单元待侧壁金属化的位置从所述背面向正面方向开设贯穿所述基板但未贯通所述封装体的槽;在所述背面通过保护层对该背面进行保护的条件下,对所述槽的侧壁进行金属化处理以使所述正面与背面的电路电连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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