[发明专利]多晶硅氢化工序中的能量利用

摘要

本发明提供了一种多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其通过对传统冷氢化工艺的改进，对反应热进行回收利用，从而达到降低能耗的效果。该方法的具体步骤为：四氯化硅液体和氢气气体进入列管式汽化器混合后进入急冷管；进入急冷管的混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热后，进入电加热器，被电加热后，接着进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应；反应生成气换热后，进入文丘里洗涤器，洗涤下来的硅粉颗粒及少量氯硅烷残浆定期排放至残浆罐；从文丘里洗涤器出来的洗涤后的气体进入列管式汽化器，对氢气与四氯化硅混合物料进行加热后，进入冷凝系统。

主权项

一种多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，主要应用于四氯化硅与氢气混合加热后的能量利用，其特征在于：包括以下步骤：（1）使四氯化硅液体和氢气气体进入列管式汽化器混合加热，控制其压力和温度，使氢气和四氯化硅按一定的配比进入急冷管；（2）使进入急冷管的四氯化硅、氢气混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热，然后进入电加热器，被电加热后再进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应；（3）使从氢化反应器出来的反应生成气进入急冷管与四氯化硅、氢气混合气换热，然后使其进入文丘里洗涤器，洗涤下来的硅粉颗粒及少量氯硅烷残浆被定期排放至残浆罐； (4)使从文丘里洗涤器出来的洗涤后的气体进入列管式汽化器，利用余热对氢气与四氯化硅混合物料进行加热后，进入冷凝系统。