[发明专利]多晶硅氢化工序中的能量利用

权利要求书

1.一种多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，主要应用于四氯化硅与氢气混合加热后的能量利用，其特征在于：包括以下步骤：

（1）使四氯化硅液体和氢气气体进入列管式汽化器混合加热，控制其压力和温度，使氢气和四氯化硅按一定的配比进入急冷管；

（2）使进入急冷管的四氯化硅、氢气混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热，然后进入电加热器，被电加热后再进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应；

（3）使从氢化反应器出来的反应生成气进入急冷管与四氯化硅、氢气混合气换热，然后使其进入文丘里洗涤器，洗涤下来的硅粉颗粒及少量氯硅烷残浆被定期排放至残浆罐；

 (4)使从文丘里洗涤器出来的洗涤后的气体进入列管式汽化器，利用余热对氢气与四氯化硅混合物料进行加热后，进入冷凝系统。

2.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：进入冷凝系统的洗涤后的气体经过低温冷凝后，将其中的三氯氢硅、四氯化硅冷凝下来送至冷凝料储罐，未凝氢气送回氢化反应器继续循环使用。

3.根据权利要求2所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：冷凝料储罐中的氯硅烷通过氯硅烷循环泵分两路送出，一路送至文丘里洗涤器洗涤降温后气中的硅粉颗粒，另一路送至分离系统。

4.根据权利要求3所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：分离系统将氯硅烷中的三氯氢硅和四氯化硅分离，三氯氢硅送至后续系统，四氯化硅送回冷氢化系统继续循环使用。

5.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：进入列管式汽化器的四氯化硅与氢气的摩尔配比为1:3-1:10。

6.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：进入列管式汽化器的四氯化硅与氢气的混合加热，其压力为1.5-4.0MPa。

7.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：进入列管式汽化器的四氯化硅与氢气的混合加热，其温度控制在120-200℃。

8.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：四氯化硅与氢气混合气在电加热器中被加热到550-650℃。

9.根据权利要求8所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：电加热温度为600℃。

10.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其特征在于：急冷管为套管式结构。