[发明专利]抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法

摘要

一种用于使抛光板自转和公转的装置，其可提高玻璃基板的抛光率，因为抛光板可同时自转和公转。

主权项

一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，其中，在将一个驱动力传送至所述圆柱体构件（20）以使得所述圆柱体构件（20）自转的情况下，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。