[发明专利]抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法

权利要求书

1.一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：

一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；

一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及

一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，

其中，在将一个驱动力传送至所述圆柱体构件（20）以使得所述圆柱体构件（20）自转的情况下，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。

2.根据权利要求1所述的使抛光板自转和公转的装置，其中在驱动力传送至所述外部齿轮（62）使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）自转。

3.根据权利要求2所述的使抛光板自转和公转的装置，其中所述环齿轮（60）通过使用来自一个自转马达传送的驱动力自转，所述圆柱体构件（20）通过使用来自一个公转马达传送的驱动力自转。

4.根据权利要求3所述的使抛光板自转和公转的装置，其中在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

5.根据权利要求3所述的使抛光板自转和公转的装置，其中在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

6.一种使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中通过推动连接至用于将玻璃基板抛光的抛光板的一个轴（50）自转和公转，使所述抛光板同时自转和公转。

7.根据权利要求6所述的使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中所述装置包括：

一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；

一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至所述抛光板；以及

一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，

其中，随着所述圆柱体构件（20）通过一个驱动力自转，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的，以及

其中，在将一个驱动力传送至所述外部齿轮（62）以使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）自转。

8.根据权利要求7所述的使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，

其中用于所述自转的驱动力由一个自转马达传送，以及用于所述公转的驱动力由一个公转马达传送，以及

其中在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比，以及在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。